1、明視野法
觀察試樣直接反射光的方法。照明燈的光通過物鏡垂直導(dǎo)向而入射于試樣，來自試樣的直接反射光通過物鏡即被觀察到。
2、暗視野法
觀察試樣干涉及衍射光的方法。照明光線通過物鏡外圍斜射于試樣，來自試樣的干涉及衍射光即被觀察到。
適用檢測試樣上微細(xì)的擦痕或裂痕、檢測晶片等試樣鏡狀表面。
3、微分干涉對(duì)比法
這是將用明視野法可能觀察不到的試樣高度微小差異通過改善對(duì)比法變?yōu)榱Ⅲw或三維圖像的顯微觀察技術(shù)。照明光由微分干涉對(duì)比棱鏡變?yōu)閮墒苌涔狻＿@兩束衍射光使試樣高度差異造成在光路上的微小差異，而光路差異變?yōu)槔梦⒎指缮鎸?duì)比棱鏡和檢偏振器的明暗對(duì)比。
再利用敏感色板，加強(qiáng)了高度差異的顏色變化。
適合檢測包括金相結(jié)構(gòu)、礦物、磁頭、硬磁盤表面和晶片精制表面等有極其微細(xì)高度差異的試樣。
4、偏振光法
這是使用由兩個(gè)一組的濾色鏡(檢偏振器和起偏振器)形成偏光的顯微觀察技術(shù)。這些偏光軸始終保持相互垂直。一些試樣在兩個(gè)濾色鏡之間呈鮮明的對(duì)比。或根據(jù)雙折射性能和定向(即、鋅結(jié)構(gòu)的拋光試樣)呈現(xiàn)顏色。在檢偏振器插在目鏡前的觀察光路時(shí)，起偏振器位于垂直照明前面的光路。
適合觀察金相結(jié)構(gòu)(即、球墨鑄鐵的石墨增長形態(tài))，礦物和液晶(LCD)以及半導(dǎo)體材料。
5、熒光法
本技術(shù)用于發(fā)出熒光的試樣。
適合利用熒光法檢測晶片的污染，感光性樹脂的殘留物，以及檢測裂縫。
